2018年11月初旬から約1ヶ月、研究室の新棟への引っ越しが行われました。現状、ほとんど稼働状態になっております。

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　装置一覧

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　カテゴリについて

各装置には、A、B、Cのカテゴリ分けをしております。

  • 　A　：　複雑高度な装置で、このカテゴリのみ使用料が異なります
  • 　B　：　一般的な装置です
  • 　C　：　使用が難しい、メーカーのメインテナンスが切れている、あるいは一定の条件が必要など、運用に別途注意が必要な装置です。使用ご希望の場合はまずご相談ください
    簡易取扱説明書は電子回路学研究グループの学生がもっぱら自分たち用に作った物ですので、研究室外の方にはこの文書だけではわかりにくいかもしれませんがご容赦下さい。
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　設計

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーーカテゴリ設置場所ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー現在の状況備考
ANSYSCB5F準備中稼働
α-SX,Asm2600等CB5F準備中稼働
VDEC貸し出しツールCB5F準備中稼働
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　パターン形成

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーーカテゴリ設置場所ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー現在の状況備考
パターンジェネレータCB5FCRfilePG.pdf稼働
電子ビーム描画装置AIncu4Ffileインキュ：EB描画装置マニュアル2014(横松).pdf稼働
マスクアライナBIncu4Ffileインキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf稼働
両面マスクアライナBB5FCRfileCR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf稼働
両面マスクアライナその２BOpen2F準備中稼働
自作スプレーコータCOpen2Ffileインキュ：スプレーコート　マニュアル.pdf稼働
ナノインクジェット装置COpen2Ffileオープン実験棟：インクジェット装置マニュアル2014（横松）.pdf稼働
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　薄膜形成

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーーカテゴリ設置場所ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー現在の状況備考
酸化／拡散炉CIncu4Ffileインキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf稼働
高速熱処理装置（RTP）CB5FfileRTA簡単マニュアル.pdf稼働
EB蒸着装置CB5FfileCR1 EB(TMP).pdf稼働
２源スパッタ装置CB5Ffileスパッタ簡易マニュアル.pdf稼働
５源スパッタ装置BIncu4Ffileエイコスパッタ装置取り扱いマニュアル.pdf稼働ターボ交換終了、使用可能　（デポレート遅い：0.1nm/s@100W、改造予定）
PZTスパッタ装置AIncu4Ffileインキュ：PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf稼働
LP-CVD装置（SiO2、SiN）CB5FCRfileLPCVD簡易マニュアル100315.pdf一時停止改造のためチャンバ取り外し中
TEOS-LP-CVD装置（SiO2）COpen2Ffileオープン実験棟：TEOS簡易マニュアル2014（佐野）.pdf稼働
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　エッチング

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーーカテゴリ設置場所ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー現在の状況備考
Deep-RIE装置（Siのみ）AIncu4Ffileインキュ：Deep-RIE簡易マニュアル_プロセス編(池田).pdf稼働
汎用ICP-RIE装置（メタルもOK）BIncu4Ffileインキュ：ICP-RIE簡易マニュアル2014（井上）.pdf稼働
XeF2シリコンドライエッチング装置BIncu4FfileXeF2簡易マニュアル.pdf稼働
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　アセンブリ

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーーカテゴリ設置場所ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー現在の状況備考
ダイシングマシンBB5FCRfileダイサ.pdf稼働
陽極接合装置BB5FCRfile陽極接合装置簡易マニュアル.pdf稼働
ウエハ／チップ接合装置BIncu4Ffileアユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf稼働
フリップチップボンダーBOpen2Ffileオープン実験棟：フリップチップボンダー2014(横松).pdf稼働
精密研磨装置BIncu4FfileERATO研磨装置使用方法.pdf稼働
超音波ボンダ装置BB5Ffile超音波ボンダ簡易マニュアル.pdf稼働
着磁装置BOpen1F準備中稼働
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　評価

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーーカテゴリ設置場所ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー現在の状況備考
走査電子顕微鏡BOpen1Ffileオープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf稼働
電界放射型走査電子顕微鏡BOpen1Ffileオープン実験棟：FE-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf稼働しばらく停止しておりましたが、エミッタ交換が終わり使用可能です
原子間力顕微鏡BB5F準備中稼働
表面段差計測装置BIncu4Ffile表面段差計(20100316).pdf稼働
共焦点顕微鏡BIncu4Ffileコンフォーカル顕微鏡マニュアル.pdf稼働
白色干渉計BOpen1Ffileオープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf稼働
レーザドップラ速度計BB5Ffileレーザドップラ簡易マニュアル.pdf稼働
プローバ、各種電気的評価設備などBB5F半導体パラメータアナライザ、ネットワークアナライザなど詳細はお問い合わせ下さい
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