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　精密研磨装置

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　装置外観

精密研磨装置.png

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　簡易取扱説明書

fileERATO研磨装置使用方法.pdf

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　概要

  • 　プレート回転数0-70rpm
  • 　プレート径300mm
  • 　4インチ標準、チップも可
  • 　最大1t、500℃
  • 　ウエハ保持ジグの揺動機構、研磨量計測機構、加圧量調整機構、研磨 タイマーなど付属
  • 　研磨ジグとウエハを平坦に貼り合わせる装置は別途設置
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    [精密研磨装置]
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添付ファイル: file精密研磨装置.png 309件 [詳細] fileERATO研磨装置使用方法.pdf 457件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 12:03:08 (3282d)