装置一覧

　2018年11月初旬から約1ヶ月、研究室の新棟への引っ越しが行われました。現状、ほとんど稼働状態になっております。

　装置一覧

　カテゴリについて

各装置には、A、B、Cのカテゴリ分けをしております。

• 　A　：　複雑高度な装置で、このカテゴリのみ使用料が異なります
• 　B　：　一般的な装置です
• 　C　：　使用が難しい、メーカーのメインテナンスが切れている、あるいは一定の条件が必要など、運用に別途注意が必要な装置です。使用ご希望の場合はまずご相談ください
  簡易取扱説明書は研究室の学生がもっぱら自分たち用に作った物ですので、研究室外の方にはこの文書だけではわかりにくいかもしれませんがご容赦下さい。

　設計

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	ーーー備考ーーー
ANSYS	C	B5F	準備中	稼働
α-SX,Asm2600等	C	B5F	準備中	稼働
VDEC貸し出しツール	C	B5F	準備中	稼働

　パターン形成

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	ーーー備考ーーー
パターンジェネレータ	C	B5FCR	PG.pdf	稼働
電子ビーム描画装置	A	Incu4F	インキュ：EB描画装置マニュアル2014(横松).pdf	稼働
マスクアライナ	B	Incu4F	インキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf	稼働
両面マスクアライナ	B	B5FCR	CR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf	稼働
両面マスクアライナその２	B	Open2F	準備中	現在管理外
自作スプレーコータ	C	Open2F	インキュ：スプレーコート　マニュアル.pdf	廃止
ナノインクジェット装置	C	Open2F	オープン実験棟：インクジェット装置マニュアル2014（横松）.pdf	稼働

　薄膜形成

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	ーーー備考ーーー
酸化／拡散炉	C	Incu4F	インキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf	稼働
高速熱処理装置（RTP）	C	B5F	RTA簡単マニュアル.pdf	稼働
EB蒸着装置	C	B5F	CR1 EB(TMP).pdf	稼働
２源スパッタ装置	C	B5F	スパッタ簡易マニュアル.pdf	稼働
５源スパッタ装置	B	Incu4F	エイコスパッタ装置取り扱いマニュアル.pdf	稼働	ターボ交換終了、使用可能　（デポレート遅い：0.1nm/s@100W、改造予定）
PZTスパッタ装置	S	Incu4F	インキュ：PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf	稼働
LP-CVD装置（SiO2、SiN）	C	B5FCR	LPCVD簡易マニュアル100315.pdf	廃止	稼働休止中　廃止
TEOS-LP-CVD装置（SiO2）	C	Open2F	オープン実験棟：TEOS簡易マニュアル2014（佐野）.pdf	稼働	0.5um程度までの成膜なら可能

　エッチング

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	ーーー備考ーーー
Deep-RIE装置（Siのみ）	S	Incu4F	インキュ：Deep-RIE簡易マニュアル_プロセス編(池田).pdf	稼働
汎用ICP-RIE装置（メタルもOK）	A	Incu4F	インキュ：ICP-RIE簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働
XeF2シリコンドライエッチング装置	B	Incu4F	XeF2簡易マニュアル.pdf	稼働
アッシャ?	B	Incu4F		稼働

　アセンブリ

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	ーーー備考ーーー
ダイシングマシン	B	B5FCR	ダイサ.pdf	稼働
陽極接合装置	B	B5FCR	陽極接合装置簡易マニュアル.pdf	稼働
ウエハ／チップ接合装置	B	Incu4F	アユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf	稼働
フリップチップボンダー	B	Open2F	オープン実験棟：フリップチップボンダー2014(横松).pdf	稼働
精密研磨装置	B	Incu4F	ERATO研磨装置使用方法.pdf	稼働
超音波ボンダ装置	B	B5F	超音波ボンダ簡易マニュアル.pdf	稼働
着磁装置	B	Open1F	準備中	稼働

　評価

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	ーーー備考ーーー
走査電子顕微鏡	B	Open1F	オープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働	現在EDX分析装置利用できません
電界放射型走査電子顕微鏡	B	Open1F	オープン実験棟：FE-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf	停止中
原子間力顕微鏡	B	B5F	AFM取説.pdf	稼働	修理済み2022/11(ADC交換)
表面段差計測装置	B	Incu4F	表面段差計(20100316).pdf	稼働	TENCOR故障中、ご利用はDEKTAK8になります
共焦点顕微鏡	B	Incu4F	コンフォーカル顕微鏡マニュアル.pdf	稼働
白色干渉計	B	Open1F	オープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf	稼働
レーザドップラ速度計	B	B5F	レーザドップラ簡易マニュアル.pdf	稼働
赤外イメージャ、プローバ、各種電気的評価設備など	B	B5F	半導体パラメータアナライザ、ネットワークアナライザなど		詳細はお問い合わせ下さい