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　MEMSギャラリー (更新中)

around 光学部品アライメント用静電型アクチュエータ
around PZTを用いた3軸加速度センサ
around DeepRIEで作製したナノニードル
添付ファイル: fileNanoNdl00.png 382件 [詳細] file3DAcc00.png 390件 [詳細] fileAct00.png 386件 [詳細]
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Last-modified: 2014-05-19 (月) 16:44:18 (3630d)