電気学会MPWサービス

　兵庫県立大学

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MPW2021参加者募集

MPWについて

　MPWとはMulti-Project-Waferの略で、複数のプロジェクトの設計を同一マスク上に搭載して製造プロセスを共有することによって小ロットの試作を安価に提供するサービスです。電気学会の圧電MEMSデバイス調査専門委員会では、圧電MEMSデバイス試作の垣根を下げ、圧電MEMSの裾野を広げることを目的とし、圧電材料であるPb(Zr,Ti)O3薄膜をSOIウエハ上に形成した圧電MEMS試作のためのMPWサービスを提供しています。第一回試作は調査専門委員会メンバーのみを対象として28年度に，対象を一般に拡張した第二回試作は平成31年度に実施しました。今回は第3回の参加者募集です

研究室内で実施したPZT-MEMSのMPW例

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サービスのプロセス概要

MPB組成(Zr:Ti=52:48)のPZT3 um厚と上下電極を活性層/酸化膜/支持層が5um/1um/525umのSOI基板上にスパッタ成膜
上部電極・PZT・下部電極をパターニング
絶縁層形成とパターニング
配線層成膜とパターニング
活性層と中間酸化膜パターニング
支持層エッチング
以上7枚のフォトマスクのプロセス

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参加方法

　MPWに参加するには、デザインハンドブック最終ページの申込書と設計データを期限までに提出する必要があります。請求関係の事務についてはAffordSens社( http://www.affordsens.com/ )を介して実施します。

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秘密保持および重要事項

試作したダイの性能保証等は一切いたしましせん。基本的にはボランティアベースのサービスですので、ご了承ください。
試作に際して得られた設計データおよびフォトマスク、試作に際して生じるダミー基板等については責任者の神田が厳重に保管し、ダイ供給時を起点に2年後に廃棄します。
参加の有無、設計データ、フォトマスク、類推される用途などについて、他の参加者を含め一切、他者への漏洩が無いよう秘密保持を行ないます。
総申込口数については公表いたします。※総申込口数に応じてダイの供給数も変化します。
試作プロセスによって得られた試作ノウハウについては公開する場合があります。
また、その他秘密保持についての誓約書または契約が必要な場合には、直接ご連絡ください。
試作・供給されたダイに関しては、商用を含め供給後の扱いには当調査専門委員会およびAffordSENS社は一切関知いたしません。
本プロジェクトにおいて供給するのはベアのチップとなります。ワイヤーボンディングを含む実装等については本プロジェクトとしては実施いたしませんが、兵庫県立大学MEMSデバイス開発支援センターにて実施することも可能です。必要であれば別途ご相談ください。

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費用について

今回に限り過去のMPW参加者は無料，新規の参加者には1口10ダイ（10㎜角）で10万円+税+事務手数料にて参加が可能です。
供給ダイ数は申込数に依存します。ただし、一口あたり最小10ダイは保証します。なお、申込が一口であっても複数の設計パターンを提出いただいても構いません。トータルの提供ダイ数が一定となるようにさせていただきます。

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