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　白色干渉計

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　装置外観

白色干渉計.png

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　簡易取扱説明書

fileオープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf

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　概要

  • 　白色光の干渉による表面プロファイラ
  • 　最大凹凸計測範囲145µm
  • 　公称0.01nmの再現性
  • 　10xのミラウ対物レンズ、1xの長焦点（40mm）マイケルソン対物レンズ使用可
  • 　電動ステージによる広領域画像の自動つなぎ合わせ
  • 　薄いガラス越しの計測も可能
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    [白色干渉計]
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添付ファイル: file白色干渉計.png 267件 [詳細] fileオープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf 3880件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 12:07:16 (3283d)