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　酸化／拡散炉

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　装置外観

酸化_拡散炉.png

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　簡易取扱説明書

fileインキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf

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　概要

  • 　コンタミ制御された酸化・拡散炉
  • 　<1200℃、Wet、Dry酸化
  • 　拡散は液体拡散源を使用
  • 　シリコンウエハ専用
  • 　標準4インチ
  • 　2段炉　
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    [酸化／拡散炉]
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添付ファイル: fileインキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf 699件 [詳細] file酸化_拡散炉.png 195件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:53:58 (3283d)