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　２源スパッタ装置

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　装置外観

２源スパッタ装置.png

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　簡易取扱説明書

fileスパッタ簡易マニュアル.pdf

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　概要

  • 　2源RFマグネトロンスパッタ　JEOL JEC-SP360M
  • 　基板加熱可（<800℃）
  • 　Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
  • 　NdFeB/Ta多層膜の実績有
  • 　4インチターゲット
  • 　バックスパッタ可
  • 　加熱無しの場合、4インチ5枚成膜可能、2源同時スパッタ可
  • 　古い装置、メーカのメンテ不可
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    [２源スパッタ装置]
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添付ファイル: fileスパッタ簡易マニュアル.pdf 1118件 [詳細] file２源スパッタ装置.png 312件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:55:42 (3279d)