パターンジェネレータ

　パターンジェネレータ

　装置外観

　簡易取扱説明書

PG.pdf
170721_マスク製作での注意点.pdf

　概要

• 　マスク作成装置（NSK TZ-220）
• 　5インチCrマスク
• 　描画エリア90×85mm2
• 　最小線幅2µm、分解能0.1µm、角度分解能0.1°、6000shots/h
• 　MANN3600データに変換必要（変換ツールはD4所持）
• 　使用頻度高いが、メンテ終了、PC98使用・・・

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