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　電子ビーム描画装置

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　装置外観

電子ビーム描画装置.png

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　簡易取扱説明書

fileインキュ：EB描画装置マニュアル2014(横松).pdf

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　概要

  • 　LaB6使用小電流タイプ、30keV
  • 　最小線幅100nm、小領域50nm
  • 　試料カセット
  • 　5”角、４”丸、20mm角
  • 　露光エリア80x110mm角
  • 　線幅1µm、500µm角で1’30”程度
  • 　レジストレーション機能等
  • 　GDSII、bmpデータフォーマット
  • 　小面積ならマスク作成も可
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    [電子ビーム描画装置]
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添付ファイル: fileインキュ：EB描画装置マニュアル2014(横松).pdf 4571件 [詳細] file電子ビーム描画装置.png 162件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:48:51 (3283d)