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　マスクアライナ

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　装置外観

マスクアライナ.png

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　簡易取扱説明書

fileインキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf

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　概要

  • 　5インチマスク、4インチウエハ
  • 　密着・近接露光
  • 　最小露光サイズ　〜1µm
  • 　g線（436nm）
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    [マスクアライナ]
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添付ファイル: fileインキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf 1744件 [詳細] fileマスクアライナ.png 288件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:50:59 (3276d)