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　表面段差計測装置

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　装置外観

表面段差計測装置.png

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　簡易取扱説明書

file表面段差計(20100316).pdf

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　概要

  • 　触針式段差計（KLA Tencor P-6）
  • 　試料サイズ最大6インチ
  • 　走査最大距離60mm
  • 　針圧設定0.5-50mg
  • 　再現性0.6nm（1δ）@±6.5µm
  • 　レジスト、酸化膜、金属膜などの各種薄膜段差計測用
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    [表面段差計測装置]
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添付ファイル: file表面段差計(20100316).pdf 2928件 [詳細] file表面段差計測装置.png 218件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 12:06:24 (3282d)