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　LP-CVD装置

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　装置外観

LP-CVD装置.png

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　簡易取扱説明書

fileLPCVD簡易マニュアル100315.pdf

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　概要

  • 　（Poly-Si、SiN用LP-CVD
  • 　4インチ、3-4枚/バッチ
  • 　相当古い装置＋シラン/アンモニアガスを使用するため、教員の付き添い必須としている装置
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    [LP-CVD装置]
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添付ファイル: fileLPCVD簡易マニュアル100315.pdf 423件 [詳細] fileLP-CVD装置.png 251件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:57:40 (3282d)