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　高速熱処理装置（RTP）

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　装置外観

高速アニール炉.png

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　簡易取扱説明書

fileRTA簡単マニュアル.pdf

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　概要

  • 　赤外線アニール炉
  • 　標準4インチウエハ
  • 　最高温度1100℃（1000℃まで約1分）
  • 　熱電対/赤外放射で温度計測
  • 　窒素、アルゴン雰囲気
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    [高速熱処理装置（RTP）]
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添付ファイル: fileRTA簡単マニュアル.pdf 790件 [詳細] file高速アニール炉.png 220件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:54:34 (3283d)