Top > 両面マスクアライナ

　両面マスクアライナ

▲ ▼

　装置外観

両面マスクアライナ.png

▲ ▼

　簡易取扱説明書

fileCR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf

▲ ▼

　概要

  • 　5インチマスク、4インチウエハ
  • 　密着露光
  • 　ウエハ裏面のパターンを見て表面のアライメントが可能
  • 　g線（436nm）
    << < 2024.5 > >>
    [両面マスクアライナ]
    日 月 火 水 木 金 土
    28
    		29
    		30
    		1
    		2
    		3
    		4
    5
    		6
    		7
    		8
    		9
    		10
    		11
    12
    		13
    		14
    		15
    		16
    		17
    		18
    19
    		20
    		21
    		22
    		23
    		24
    		25
    26
    		27
    		28
    		29
    		30
    		31
    		1
添付ファイル: file両面マスクアライナ.png 225件 [詳細] fileCR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf 3489件 [詳細]
リロード   新規 編集 凍結解除 差分 添付 複製 名前変更   ホーム 一覧 単語検索 最終更新 バックアップ リンク元   ヘルプ   最終更新のRSS
Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:51:39 (3282d)