ウエハ／チップ接合装置

　ウエハ／チップ接合装置

　装置外観

　簡易取扱説明書

アユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf

　概要

• 　真空/大気/特定ガス雰囲気中で、加圧（最大1t）、昇温（最大500℃）による接合
• 　標準4インチウエハ、チップも可能
• 　透過赤外アライメント機構付き（不純物濃度が高すぎるシリコンウエハは観察不可）
• 　陽極接合用（ガラスーシリコンの接合）電圧導入端子付き

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