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　走査電子顕微鏡

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　装置外観

走査電子顕微鏡.png

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　簡易取扱説明書

fileオープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf

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　概要

  • 　LaB6を用いた簡易型のSEM（JEOL JED-­2300）
  • 　EDS分析装置付属
  • 　4インチウエハ導入可能
  • 　加速電圧0.5-30keV
  • 　分解能3nm（30keV）
  • 　低真空動作可
  • 　ステージ移動量80x40mm
  • 　カーボンコータ、イオンビームクロスセクションポリッシャも同室に設置
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    [走査電子顕微鏡]
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添付ファイル: fileオープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf 7284件 [詳細] file走査電子顕微鏡.png 314件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 12:05:00 (3283d)