EB蒸着装置
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EB蒸着装置
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装置外観
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簡易取扱説明書
CR1 EB(TMP).pdf
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概要
4源ルツボEB蒸着
真空系はDP
基板加熱可(<200℃)
Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
ビームスイープ機構(Cr等昇華性ソースに使用)
猛烈に古い
オペにコツ必要
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EB蒸着装置
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添付ファイル:
CR1 EB(TMP).pdf
888件
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詳細
]
EB蒸着装置.png
338件
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詳細
]
Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:55:08 (3283d)
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