Top > EB蒸着装置

 EB蒸着装置

 装置外観

EB蒸着装置.png

 簡易取扱説明書

fileCR1 EB(TMP).pdf

 概要

  •  4源ルツボEB蒸着
  •  真空系はDP
  •  基板加熱可(<200℃)
  •  Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
  •  ビームスイープ機構(Cr等昇華性ソースに使用)
  •  猛烈に古い
  •  オペにコツ必要
    << < 2024.5 > >>
    [EB蒸着装置]
    28
    29
    30
    1
    2
    3
    4
    5
    6
    7
    8
    9
    10
    11
    12
    13
    14
    15
    16
    17
    18
    19
    20
    21
    22
    23
    24
    25
    26
    27
    28
    29
    30
    31
    1

添付ファイル: fileCR1 EB(TMP).pdf 888件 [詳細] fileEB蒸着装置.png 338件 [詳細]

リロード   新規 編集 凍結解除 差分 添付 複製 名前変更   ホーム 一覧 単語検索 最終更新 バックアップ リンク元   ヘルプ   最終更新のRSS
Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:55:08 (3283d)