両面マスクアライナその２

　両面マスクアライナその２

　装置外観

　簡易取扱説明書

マニュアル探し中

　概要

• 　3〜５インチマスク、両面同時露光
• 　4インチウエハ、異形ウエハOK
• 　密着露光
• 　表裏面のマスクを合わせて、その間にウエハを挟み込み、表裏同時に露光
• 　通常のアライナとしての使用可
• 　g線（436nm）

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