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　PZTスパッタ装置

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　装置外観

PZTスパッタ装置.png

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　簡易取扱説明書

fileインキュ：PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf

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　概要

  • 　（圧電薄膜）PZT、Pt/Ti膜の連続成膜装置
  • 　高温スパッタ
  • 　4インチウエハ用
  • 　標準PZT膜厚3µm
  • 　温度分布に敏感
  • 　新品装置だがなかなか気むずかしい
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    [PZTスパッタ装置]
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添付ファイル: fileインキュ：PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf 2497件 [詳細] filePZTスパッタ装置.png 264件 [詳細]
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Last-modified: 2015-05-11 (月) 11:57:07 (3283d)