装置一覧 のバックアップ(No.19)

• バックアップ一覧
• 差分 を表示
• 現在との差分 を表示
• 現在との差分 - Visual を表示
• ソース を表示
• 装置一覧 へ行く。
  • 1 (2014-04-10 (木) 09:19:07)
  • 2 (2014-04-10 (木) 22:22:20)
  • 3 (2014-04-10 (木) 23:04:28)
  • 4 (2014-04-11 (金) 10:24:56)
  • 5 (2014-04-11 (金) 14:18:56)
  • 6 (2014-04-11 (金) 15:23:08)
  • 7 (2014-04-14 (月) 09:42:43)
  • 8 (2014-04-14 (月) 11:56:38)
  • 9 (2014-04-14 (月) 14:13:36)
  • 10 (2014-04-14 (月) 15:23:07)
  • 11 (2014-04-14 (月) 16:15:14)
  • 12 (2014-04-14 (月) 17:02:12)
  • 13 (2014-04-16 (水) 11:10:07)
  • 14 (2014-04-16 (水) 12:00:27)
  • 15 (2014-04-16 (水) 13:35:40)
  • 16 (2014-04-30 (水) 10:45:10)
  • 17 (2014-05-01 (木) 23:40:56)
  • 18 (2014-05-02 (金) 06:56:24)
  • 19 (2014-05-06 (火) 14:12:10)
  • 20 (2014-05-06 (火) 16:54:19)
  • 21 (2014-05-14 (水) 10:53:15)
  • 22 (2014-05-14 (水) 11:29:18)
  • 23 (2014-05-14 (水) 16:18:18)
  • 24 (2014-05-16 (金) 14:50:16)
  • 25 (2014-06-13 (金) 09:57:58)
  • 26 (2014-09-25 (木) 16:30:36)
  • 27 (2015-01-12 (月) 22:28:05)
  • 28 (2015-01-15 (木) 15:46:02)
  • 29 (2015-01-21 (水) 09:21:04)
  • 30 (2015-01-30 (金) 14:36:48)
  • 31 (2015-02-14 (土) 13:27:38)
  • 32 (2015-04-13 (月) 11:47:41)
  • 33 (2015-04-20 (月) 18:23:28)
  • 34 (2016-01-23 (土) 13:51:15)
  • 35 (2016-08-06 (土) 17:58:06)
  • 36 (2017-08-02 (水) 13:37:09)
  • 37 (2017-08-04 (金) 18:51:13)
  • 38 (2017-09-22 (金) 15:46:11)
  • 39 (2017-12-22 (金) 18:39:30)
  • 40 (2018-01-29 (月) 16:48:24)
  • 41 (2018-04-12 (木) 06:07:27)
  • 42 (2018-06-04 (月) 09:16:37)
  • 43 (2018-06-20 (水) 02:47:11)
  • 44 (2018-07-02 (月) 16:50:07)
  • 45 (2018-07-03 (火) 14:52:29)
  • 46 (2018-09-10 (月) 09:13:24)
  • 47 (2019-02-28 (木) 11:23:42)
  • 48 (2019-08-07 (水) 12:49:03)
  • 49 (2019-08-20 (火) 15:46:09)
  • 50 (2019-12-02 (月) 17:40:29)
  • 51 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 52 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 53 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 54 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 55 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 56 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 57 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 58 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 59 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 60 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 61 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 62 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 63 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 64 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 65 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 66 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 67 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 68 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 69 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 70 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 71 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 72 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 73 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 74 (2020-03-30 (月) 21:21:09)
  • 75 (2021-02-09 (火) 08:52:16)
  • 76 (2021-02-09 (火) 08:52:16)
  • 77 (2021-03-02 (火) 16:24:49)
  • 78 (2021-03-04 (木) 09:57:08)
  • 79 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 80 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 81 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 82 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 83 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 84 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 85 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 86 (2021-03-10 (水) 14:54:59)
  • 87 (2021-12-10 (金) 18:02:39)
  • 88 (2022-11-01 (火) 23:10:42)
  • 89 (2022-11-03 (木) 06:31:52)
  • 90 (2022-12-16 (金) 09:33:01)
  • 91 (2022-12-16 (金) 13:51:26)
  • 92 (2022-12-16 (金) 16:02:51)
  • 93 (2023-06-12 (月) 10:06:18)
  • 94 (2023-07-04 (火) 12:23:33)
  • 95 (2023-09-07 (木) 10:54:31)
  • 96 (2023-09-25 (月) 08:41:13)
  • 97 (2023-10-17 (火) 09:50:08)
  • 98 (2023-10-31 (火) 17:07:25)
  • 99 (2024-04-01 (月) 16:44:51)

　装置一覧

　カテゴリについて

各装置には、A、B、Cのカテゴリ分けをしております。

• 　A　：　複雑高度な装置で、このカテゴリのみ使用料が異なります
• 　B　：　一般的な装置です
• 　C　：　使用が難しい、メーカーのメインテナンスが切れている、あるいは一定の条件が必要など、運用に別途注意が必要な装置です。使用ご希望の場合はまずご相談ください

　設計

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	備考
ANSYS	C	D4F	準備中	稼働
α-SX,Asm2600等	C	D4F	準備中	稼働
VDEC貸し出しツール	C	D4F	準備中	稼働

　パターン形成

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	備考
パターンジェネレータ	C	D4F	PG.pdf	稼働
電子ビーム描画装置	A	Incu4F	インキュ：EB描画装置マニュアル2014(横松).pdf	稼働
マスクアライナ	B	Incu4F	インキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf	稼働
両面マスクアライナ	B	D4F	CR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf	稼働
両面マスクアライナその２	B	Open2F	準備中	稼働
DMD露光装置	C	D4F	DMD露光機簡易マニュアル.pdf	稼働
自作スプレーコータ	C	Incu4F	インキュ：スプレーコート　マニュアル.pdf	稼働
ナノインクジェット装置	C	Open2F	オープン実験棟：インクジェット装置マニュアル2014（横松）.pdf	稼働

　薄膜形成

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	備考
酸化／拡散炉	C	Incu4	インキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf	稼働
高速熱処理装置（RTP）	C	D4F	RTA簡単マニュアル.pdf	稼働
EB蒸着装置	C	D4F	CR1 EB(TMP).pdf	稼働
２源スパッタ装置	C	D4F	スパッタ簡易マニュアル.pdf	稼働
５源スパッタ装置	B	Incu4	エイコスパッタ装置取り扱いマニュアル.pdf	一時停止
PZTスパッタ装置	A	Incu4	インキュ：PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf	稼働
LP-CVD装置（SiO2、SiN）	C	D4F	LPCVD簡易マニュアル100315.pdf	稼働
TEOS-LP-CVD装置（SiO2）	C	Open2F	オープン実験棟：TEOS簡易マニュアル2014（佐野）.pdf	稼働

　エッチング

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	備考
Deep-RIE装置（Siのみ）	A	Incu4F	インキュ：Deep-RIE簡易マニュアル_プロセス編(池田).pdf	稼働
汎用ICP-RIE装置（メタルもOK）	B	Incu4F	インキュ：ICP-RIE簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働
XeF2シリコンドライエッチング装置	B	Incu4F	XeF2簡易マニュアル.pdf	稼働

　アセンブリ

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	備考
ダイシングマシン	B	D4F	ダイサ.pdf	稼働
陽極接合装置	B	D4F	陽極接合装置簡易マニュアル.pdf	稼働
ウエハ／チップ接合装置	B	Incu4F	アユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf	稼働
フリップチップボンダー	B	Open2F	オープン実験棟：フリップチップボンダー2014(横松).pdf	稼働
精密研磨装置	B	Incu4F	ERATO研磨装置使用方法.pdf	稼働
超音波ボンダ装置	B	D4F	超音波ボンダ簡易マニュアル.pdf	稼働
着磁装置	B	Open1F	準備中	稼働

　評価

ーーーーーーーーーー装置名ーーーーーーーーーー	カテゴリ	設置場所	ーーーーーーーーーーーー簡易取扱説明書ーーーーーーーーーーーー	現在の状況	備考
走査電子顕微鏡	B	Open1F	オープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働
電界放射型走査電子顕微鏡	B	Open1F	オープン実験棟：FE-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働
原子間力顕微鏡	B	Open1F	準備中	稼働
表面段差計測装置	B	Incu4F	表面段差計(20100316).pdf	故障
共焦点顕微鏡	B	Incu4F	コンフォーカル顕微鏡マニュアル.pdf	稼働
白色干渉計	B	Open1F	オープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf	稼働
レーザドップラ速度計	B	Open2F	レーザドップラ簡易マニュアル.pdf	稼働