装置一覧

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　設計

装置名カテゴリ設置場所簡易取扱説明書現在の状況備考
ANSYSD4F準備中稼働
α-SX,Asm2600等D4F準備中稼働
VDEC貸し出しツールD4F準備中稼働
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　パターン形成

装置名カテゴリ設置場所簡易取扱説明書現在の状況備考
パターンジェネレータD4FfilePG.pdf稼働
電子ビーム描画装置Incu4Ffileインキュ：EB描画装置マニュアル2014(横松).pdf稼働
マスクアライナIncu4Ffileインキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf稼働
両面マスクアライナD4FfileCR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf稼働
両面マスクアライナその２Open2F準備中稼働
DMD露光装置D4FfileDMD露光機簡易マニュアル.pdf稼働
スピンコータIncu4F準備中稼働
自作スプレーコータIncu4Ffileインキュ：スプレーコート　マニュアル.pdf稼働
ナノインクジェット装置Open2Ffileオープン実験棟：インクジェット装置マニュアル2014（横松）.pdf稼働
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　薄膜形成

装置名カテゴリ設置場所簡易取扱説明書現在の状況備考
酸化／拡散炉Incu4fileインキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf稼働
高速熱処理装置（RTP）D4FfileRTA簡単マニュアル.pdf稼働
EB蒸着装置D4FfileCR1 EB(TMP).pdf稼働
２源スパッタ装置D4Ffileスパッタ簡易マニュアル.pdf稼働
５源スパッタ装置Incu4fileエイコスパッタ装置取り扱いマニュアル.pdf稼働
PZTスパッタ装置Incu4fileインキュ：PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf稼働
LP-CVD装置D4FfileLPCVD簡易マニュアル100315.pdf稼働
TEOS-LP-CVD装置Open2Ffileオープン実験棟：TEOS簡易マニュアル2014（佐野）.pdf稼働
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　エッチング

装置名カテゴリ設置場所簡易取扱説明書現在の状況備考
Deep-RIE装置Incu4Ffileインキュ：Deep-RIE簡易マニュアル_プロセス編(池田).pdf稼働
汎用ICP-RIE装置Incu4Ffileインキュ：ICP-RIE簡易マニュアル2014（井上）.pdf稼働
XeF2シリコンドライエッチング装置Incu4FfileXeF2簡易マニュアル.pdf稼働
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　アセンブリ

装置名カテゴリ設置場所簡易取扱説明書現在の状況備考
ダイシングマシンD4Ffileダイサ.pdf稼働
陽極接合装置D4Ffile陽極接合装置簡易マニュアル.pdf稼働
ウエハ／チップ接合装置Incu4Ffileアユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf稼働
フリップチップボンダーOpen2Ffileオープン実験棟：フリップチップボンダー2014(横松).pdf稼働
精密研磨装置Incu4FfileERATO研磨装置使用方法.pdf稼働
超音波ボンダ装置D4Ffile超音波ボンダ簡易マニュアル.pdf稼働
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　評価

装置名カテゴリ設置場所簡易取扱説明書現在の状況備考
走査電子顕微鏡Open1Ffileオープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf稼働
電界放射型走査電子顕微鏡Open1Ffileオープン実験棟：FE-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf稼働
原子間力顕微鏡Open1F準備中稼働
表面段差計測装置Incu4Ffile表面段差計(20100316).pdf故障
共焦点顕微鏡Incu4Ffileコンフォーカル顕微鏡マニュアル.pdf稼働
白色干渉計Open1Ffileオープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf稼働
レーザドップラ速度計Open2Ffileレーザドップラ簡易マニュアル.pdf稼働
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TEST

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