装置一覧 のバックアップ(No.14)

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  • 90 (2022-12-16 (金) 09:33:01)
  • 91 (2022-12-16 (金) 13:51:26)
  • 92 (2022-12-16 (金) 16:02:51)
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  • 97 (2023-10-17 (火) 09:50:08)
  • 98 (2023-10-31 (火) 17:07:25)
  • 99 (2024-04-01 (月) 16:44:51)

　装置一覧

　設計

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考

　パターン形成

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考
パターンジェネレータ		D4F	PG.pdf	稼働
電子ビーム描画装置		Incu4F	インキュ：EB描画装置マニュアル2014(横松).pdf	稼働
マスクアライナ		Incu4F	インキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf	稼働
両面マスクアライナ		D4F	CR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf	稼働
両面マスクアライナその２		Open2F	準備中	稼働
DMD露光装置		D4F	DMD露光機簡易マニュアル.pdf	稼働
スピンコータ		Incu4F	準備中	稼働
自作スプレーコータ		Incu4F	インキュ：スプレーコート　マニュアル.pdf	稼働
ナノインクジェット装置		Open2F	オープン実験棟：インクジェット装置マニュアル2014（横松）.pdf	稼働

　薄膜形成

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考
酸化／拡散炉		Incu4	インキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf	稼働
高速熱処理装置（RTP）		D4F	RTA簡単マニュアル.pdf	稼働
EB蒸着装置		D4F	CR1 EB(TMP).pdf	稼働
２源スパッタ装置		D4F	スパッタ簡易マニュアル.pdf	稼働
５源スパッタ装置		Incu4	エイコスパッタ装置取り扱いマニュアル.pdf	稼働
PZTスパッタ装置		Incu4	インキュ：PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf	稼働
LP-CVD装置		D4F	LPCVD簡易マニュアル100315.pdf	稼働
TEOS-LP-CVD装置		Open2F	オープン実験棟：TEOS簡易マニュアル2014（佐野）.pdf	稼働

　エッチング

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考
Deep-RIE装置		Incu4F	インキュ：Deep-RIE簡易マニュアル_プロセス編(池田).pdf	稼働
汎用ICP-RIE装置		Incu4F	インキュ：ICP-RIE簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働
XeF2シリコンドライエッチング装置		Incu4F	XeF2簡易マニュアル.pdf	稼働

　アセンブリ

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考
ダイシングマシン		D4F	ダイサ.pdf	稼働
陽極接合装置		D4F	陽極接合装置簡易マニュアル.pdf	稼働
ウエハ／チップ接合装置		Incu4F	アユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf	稼働
フリップチップボンダー		Open2F	オープン実験棟：フリップチップボンダー2014(横松).pdf	稼働
精密研磨装置		Incu4F	ERATO研磨装置使用方法.pdf	稼働
超音波ボンダ装置		D4F	超音波ボンダ簡易マニュアル.pdf	稼働

　評価

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考
走査電子顕微鏡		Open1F	オープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働
電界放射型走査電子顕微鏡		Open1F	オープン実験棟：FE-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf	稼働
原子間力顕微鏡		Open1F	準備中	稼働
表面段差計測装置		Incu4F	表面段差計(20100316).pdf	故障
共焦点顕微鏡		Incu4F	コンフォーカル顕微鏡マニュアル.pdf	稼働
白色干渉計		Open1F	オープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf	稼働
レーザドップラ速度計		Open2F	レーザドップラ簡易マニュアル.pdf	稼働

TEST

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