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90 (2022-12-16 (金) 09:33:01)
91 (2022-12-16 (金) 13:51:26)
92 (2022-12-16 (金) 16:02:51)
93 (2023-06-12 (月) 10:06:18)
94 (2023-07-04 (火) 12:23:33)
95 (2023-09-07 (木) 10:54:31)
96 (2023-09-25 (月) 08:41:13)
97 (2023-10-17 (火) 09:50:08)
98 (2023-10-31 (火) 17:07:25)
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設計
装置名
カテゴリ
設置場所
簡易取扱説明書
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備考
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パターン形成
装置名
カテゴリ
設置場所
簡易取扱説明書
現在の状況
備考
パターンジェネレータ
D4F
PG.pdf
稼働
両面マスクアライナ
D4F
CR1:両面アライナPEM-800 簡易マニュアル(山口).pdf
稼働
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薄膜形成
装置名
カテゴリ
設置場所
簡易取扱説明書
現在の状況
備考
酸化/拡散炉
Incu4
インキュ酸化炉簡易マニュアル(100315).pdf
稼働
高速熱処理装置(RTP)
D4F
RTA簡単マニュアル.pdf
稼働
EB蒸着装置
D4F
CR1 EB(TMP).pdf
稼働
2源スパッタ装置
D4F
スパッタ簡易マニュアル.pdf
稼働
5源スパッタ装置
Incu4
エイコスパッタ装置取り扱いマニュアル.pdf
稼働
PZTスパッタ装置
Incu4
インキュ:PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(井上).pdf
稼働
LP-CVD装置
D4F
LPCVD簡易マニュアル100315.pdf
稼働
TEOS-LP-CVD装置
Open2F
オープン実験棟:TEOS簡易マニュアル2014(佐野).pdf
稼働
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エッチング
装置名
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設置場所
簡易取扱説明書
現在の状況
備考
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アセンブリ
装置名
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設置場所
簡易取扱説明書
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評価
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簡易取扱説明書
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