装置一覧 のバックアップ(No.6)

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  • 91 (2022-12-16 (金) 13:51:26)
  • 92 (2022-12-16 (金) 16:02:51)
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  • 95 (2023-09-07 (木) 10:54:31)
  • 96 (2023-09-25 (月) 08:41:13)
  • 97 (2023-10-17 (火) 09:50:08)
  • 98 (2023-10-31 (火) 17:07:25)
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　装置一覧

　設計

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考

　パターン形成

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考
両面マスクアライナ		D4F	CR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf	稼働

　薄膜形成

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考
酸化／拡散炉		Incu4	インキュ酸化炉簡易マニュアル（100315）.pdf	稼働
高速熱処理装置（RTP）		D4F	RTA簡単マニュアル.pdf	稼働
EB蒸着装置		D4F	CR1 EB(TMP).pdf	稼働

　エッチング

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考

　アセンブリ

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考

　評価

装置名	カテゴリ	設置場所	簡易取扱説明書	現在の状況	備考

TEST

テキスト	選択	ラジオボタン	エリア
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