課金についての予告

　重要なお知らせ

2023年10月15日より、課金方法を変更します。

　課金について

• センター使用にあたり、運営費用の一部をご負担いただくためシンプルな形態で課金させていただいております。ただし、営利を目的とするものではありませんので、As is、Best effort型のサービスとさせていただきます。
• 学内の方の使用に関しましては、県費の移動で対応させていただきます（年度後半に一括してお願いします）
• 学外の方の使用にあたっては、アフォードセンス株式会社（http://www.affordsens.com/）が伝票の処理を行います。使用の都度の請求となります。また、下記課金の20%の手数料＋消費税が必要となります。書類につきましては担当者より別途ご連絡が入りますのでよろしくお願いします。

　従来との変更点

課金制度の変更

• 装置カテゴリの新設と変更
  • 変更点DeepRIE：A→S，PZTスパッタ：A→S，ICP-RIE：B→A
• 使用料（半日あたり）
  • カテゴリS：30,000円，カテゴリA：20000円，カテゴリB，C：10000円（営利企業）
• 複数装置使用の場合の課金方法の変更
  • 単体使用料を加算して課金(装置3つであれば3つ分)
  • 2個目以降は半額。ただし最上位カテゴリ装置一つは単体利用額とする
  • 上位カテゴリ装置使用料+下位カテゴリ装置使用料の半額+以降半額・・・
  • 非営利価格は使用料総額を半額とする
  • 例）D-RIEとICP-RIE，アッシャを半日営利企業が利用：30000+10000+5000＝45000円
• ドラフタや顕微鏡，段差計などの付随的な装置使用について
  • 他装置との付随的な利用はこれまで通り予約不要・課金対象外ですが、ドラフタ，顕微鏡，段差計など，単体でのご利用や占有が必要な場合はこれらをBカテゴリとして課金します。※占有しない場合には使用しても良いが他者と共同利用することを許容すること
• オペトレ及び消耗品費について
  • オペトレについてはこれまで課金しておりませんでしたが，人的負担が大きいため課金することになりました（1時間6000円）
  • 標準的な消耗品は在庫品を利用していただいて結構ですが、相当額を請求させていただきます。また，白金や電子ビーム露光用レジスト、クロムマスクブランクスなど高価な材料を使用する場合や，標準的な消耗品でも大量の使用が想定される場合にはあらかじめご準備いただくか，事前にご相談ください（お問い合わせフォーム）。

機能膜付きウエハサンプル供給

• PZT薄膜を成膜した4インチウエハをサンプル供給します（膜厚3umまでは1枚100,000円）。厚さは10umまで可能。応相談
• NdFeB磁石薄膜を成膜した4インチウエハをサンプル供給します（1枚100,000円）。