MEMSギャラリー
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* MEMSギャラリー (更新中)[#p2272bce] &ref(./Act00.png,150%,around); 光学部品アライメント用静電型アクチュエータ~ &ref(./3DAcc00.png,150%,around); PZTを用いた3軸加速度センサ~ &ref(./NanoNdl00.png,115%,around); DeepRIEで作製したナノニードル~ #img(,clear);
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