パターンジェネレータ
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> パターンジェネレータ
* パターンジェネレータ [#z7dc6022] ** 装置外観 [#cee4ec47] &ref(./パターンジェネレータ.png,50%); ** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34] &ref(./PG.pdf);&br;&ref(./170721_マスク製作での注意点.pdf); ** 概要 [#s212667c] - マスク作成装置(NSK TZ-220) - 5インチCrマスク - 描画エリア90×85mm2 - 最小線幅2µm、分解能0.1µm、角度分解能0.1°、6000shots/h - MANN3600データに変換必要(変換ツールはD4所持) - 使用頻度高いが、メンテ終了、PC98使用・・・ #calendar9
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* パターンジェネレータ [#z7dc6022] ** 装置外観 [#cee4ec47] &ref(./パターンジェネレータ.png,50%); ** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34] &ref(./PG.pdf);&br;&ref(./170721_マスク製作での注意点.pdf); ** 概要 [#s212667c] - マスク作成装置(NSK TZ-220) - 5インチCrマスク - 描画エリア90×85mm2 - 最小線幅2µm、分解能0.1µm、角度分解能0.1°、6000shots/h - MANN3600データに変換必要(変換ツールはD4所持) - 使用頻度高いが、メンテ終了、PC98使用・・・ #calendar9
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