LP-CVD装置 の変更点

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*　LP-CVD装置 [#pd06fdd0]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./LP-CVD装置.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./LPCVD簡易マニュアル100315.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　（Poly-Si、SiN用LP-CVD
-　4インチ、3-4枚/バッチ

-　相当古い装置＋シラン/アンモニアガスを使用するため、教員の付き添い必須としている装置

#calendar9