EB蒸着装置 の変更点

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*　EB蒸着装置 [#sa019357]
#calendar9
**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./EB蒸着装置.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./CR1 EB(TMP).pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　4源ルツボEB蒸着
-　真空系はDP
-　基板加熱可（<200℃）
-　Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
-　ビームスイープ機構（Cr等昇華性ソースに使用）

-　猛烈に古い
-　オペにコツ必要

#calendar9