Top > 両面マスクアライナその2
* 両面マスクアライナその2[#f5cfbc83] ** 装置外観 [#cee4ec47] &ref(./両面マスクアライナその2.png,50%); ** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34] &color(red){マニュアル探し中}; ** 概要 [#s212667c] - 3〜5インチマスク、両面同時露光 - 4インチウエハ、異形ウエハOK - 密着露光 - 表裏面のマスクを合わせて、その間にウエハを挟み込み、表裏同時に露光 - 通常のアライナとしての使用可 - g線(436nm) #calendar9 |