両面マスクアライナ の変更点

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*　両面マスクアライナ [#f5cfbc83]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./両面マスクアライナ.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./CR1：両面アライナPEM-800　簡易マニュアル(山口).pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　5インチマスク、4インチウエハ
-　密着露光
-　ウエハ裏面のパターンを見て表面のアライメントが可能
-　g線（436nm）

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