表面段差計測装置 の変更点

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*　表面段差計測装置 [#n489f1f5]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./表面段差計測装置.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./表面段差計(20100316).pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　触針式段差計（KLA Tencor P-6）
-　試料サイズ最大6インチ
-　走査最大距離60mm
-　針圧設定0.5-50mg
-　再現性0.6nm（1δ）@±6.5µm
-　レジスト、酸化膜、金属膜などの各種薄膜段差計測用

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