白色干渉計 の変更点

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*　白色干渉計 [#u117a822]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./白色干渉計.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./オープン実験棟：表面形状測定器(Zygo).pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　白色光の干渉による表面プロファイラ
-　最大凹凸計測範囲145µm
-　公称0.01nmの再現性
-　10xのミラウ対物レンズ、1xの長焦点（40mm）マイケルソン対物レンズ使用可
-　電動ステージによる広領域画像の自動つなぎ合わせ
-　薄いガラス越しの計測も可能

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