走査電子顕微鏡 の変更点

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*　走査電子顕微鏡 [#db4f2460]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./走査電子顕微鏡.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./オープン実験棟：JEOL-SEM簡易マニュアル2014（井上）.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　LaB6を用いた簡易型のSEM（JEOL JED-­2300）
-　EDS分析装置付属
-　4インチウエハ導入可能
-　加速電圧0.5-30keV
-　分解能3nm（30keV）
-　低真空動作可
-　ステージ移動量80x40mm
-　カーボンコータ、イオンビームクロスセクションポリッシャも同室に設置

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