精密研磨装置 の変更点

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*　精密研磨装置 [#icc34541]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./精密研磨装置.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./ERATO研磨装置使用方法.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　プレート回転数0-70rpm
-　プレート径300mm
-　4インチ標準、チップも可
-　最大1t、500℃
-　ウエハ保持ジグの揺動機構、研磨量計測機構、加圧量調整機構、研磨 タイマーなど付属
-　研磨ジグとウエハを平坦に貼り合わせる装置は別途設置

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