高速熱処理装置（RTP） の変更点

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*　高速熱処理装置（RTP） [#v186ec48]
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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./高速アニール炉.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./RTA簡単マニュアル.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　赤外線アニール炉
-　標準4インチウエハ
-　最高温度1100℃（1000℃まで約1分）
-　熱電対/赤外放射で温度計測
-　窒素、アルゴン雰囲気

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