マスクアライナ の変更点

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*　マスクアライナ [#f5cfbc83]

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**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./マスクアライナ.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ：Canonアライナ簡易マニュアル.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　5インチマスク、4インチウエハ
-　密着・近接露光
-　最小露光サイズ　〜1µm
-　g線（436nm）

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