パターンジェネレータ の変更点

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*　パターンジェネレータ [#z7dc6022]
**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./パターンジェネレータ.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./PG.pdf);&br;&ref(./170721_マスク製作での注意点.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　マスク作成装置
-　マスク作成装置（NSK TZ-220）
-　5インチCrマスク
-　描画エリア90×85mm2
-　最小線幅2µm、分解能0.1µm、角度分解能0.1°、6000shots/h
-　MANN3600データに変換必要（変換ツールはD4所持）
-　使用頻度高いが、メンテ終了、PC98使用・・・
#calendar9