ウエハ／チップ接合装置 の変更点

• 追加された行はこの色です。
• 削除された行はこの色です。
• ウエハ／チップ接合装置 へ行く。
• ウエハ／チップ接合装置 の差分を削除

*　ウエハ／チップ接合装置 [#ha71a185]
#calendar9
**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./ウエハ／チップ接合装置.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./アユミ接合装置簡易使用マニュアル_0.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　真空/大気/特定ガス雰囲気中で、加圧（最大1t）、昇温（最大500℃）による接合
-　標準4インチウエハ、チップも可能
-　透過赤外アライメント機構付き（不純物濃度が高すぎるシリコンウエハは観察不可）
-　陽極接合用（ガラスーシリコンの接合）電圧導入端子付き

#calendar9