２源スパッタ装置 の変更点

• 追加された行はこの色です。
• 削除された行はこの色です。
• ２源スパッタ装置 へ行く。
• ２源スパッタ装置 の差分を削除

*　２源スパッタ装置 [#bd87e54d]
#calendar9
**　装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./２源スパッタ装置.png,50%);
**　簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./スパッタ簡易マニュアル.pdf);
**　概要 [#s212667c]
-　2源RFマグネトロンスパッタ　JEOL JEC-SP360M
-　基板加熱可（<800℃）
-　Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
-　NdFeB/Ta多層膜の実績有
-　4インチターゲット
-　バックスパッタ可
-　加熱無しの場合、4インチ5枚成膜可能、2源同時スパッタ可

-　古い装置、メーカのメンテ不可

#calendar9