MEMSデバイス開発支援センターへようこそ
本センターは、学内外を問わず、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスに関連する設備やノウハウを広く利用頂くために設立されたセンターです。運営資金の一部とするため、若干の課金を提示させて頂いておりますが、営利を目的とするものではありませんので、As is、Best effort型のサービスとさせていただきます。センターパンフレット暫定版−＞
MEMSCPV1.pdf
MEMSデバイス開発支援センターでできること
以下のサービスを行います。
- 装置利用：利用者ご自身で装置運用をしていただきます。最初に利用されます際には、簡単な安全講習とともに、装置使用の手引きをさせていただきます。
- 依頼加工：当方のマンパワーに余裕がある場合（現在、技術員の方がおられます）、薄膜形成や、パターン形成、等々の依頼を申し受けます。加工期間、費用等に付いては別途お問い合わせ下さい。
- MEMS講習：基礎のMEMS技術講習を実技を含めて計画したいと思っています。
- 技術指導：これからMEMS技術に取り組みたい方に対して、技術指導を行います。
参加の手順（装置利用）
まず、装置一覧で、やりたいことに適切な設備があるかどうか、確認します。ついで、別ページの各装置ごとの予約一覧をご覧頂き、ご希望のスケジュールを検討します。そして、機器使用連絡フォームから、装置の使用希望をお出し下さい。状況を確認し、こちらからメイルによりお返事させていただきます。
費用
- 学内の装置利用に関しては次の3種類の費用設定を行います。
- 標準的な装置（装置一覧でBまたはCカテゴリの装置）を一種類使用されます場合、半日￥5,000です。この際、顕微鏡やホットプレート、コータなど、付帯設備はご利用下さい。また、標準的な薬品や材料は「共用」として提供されます。
- 標準的な装置を複数台ご使用の場合、半日￥10,000とします。例えば、ダイシングソーで切断後、FE-SEMで観察する、薄膜形成後、パターニング（リソグラフィ）を行う、などが相当します。
- 特殊装置（装置一覧でAカテゴリの装置）は、他の一般装置の使用も含み半日￥15,000とします。
- 学外からの使用の場合
- 別途、お問い合わせ下さい。できるだけ容易に利用できるよう、努力いたします。
- 依頼加工については処理の規模が個々に大きく変わるものと思われますので、別途ご相談下さい。
上記は暫定的なルールで今後変化することがあります。
企業の方へお願い
積極的にMEMSデバイスにチャレンジしたいとお考えの場合、長期にわたる自由な利用を可能にするため、共同研究等の仕組みでセンターと協同が可能です。ご興味がございましたらご連絡下さい。
お問い合わせ先
不明な点、協同研究のお申し出など、センター長の前中(
)までご連絡下さい。
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