コロナウイルスによる緊急事態宣言に伴うセンターの活動について

　兵庫県に緊急事態宣言が出されたことに伴い、本学でもキャンパス内への 学生および学外者の立ち入りが原則禁止となりました（http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/topics/corona/）。このため、本センターも従前の活動が不可能となりました。現在職員の勤務は可能ですので、定型的な処理については依頼加工のかたちで行うことも検討しております。お急ぎの方は問い合わせフォームからご質問下さい。ご迷惑をおかけしますが何卒ご理解よろしくお願いいたします。
　皆様におかれましては、ご健康に一層のご配慮をいただき、くれぐれもご自愛くださいますようお願い申し上げます。
　一刻も早く平常活動ができるよう、心から願っております。

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　サーバーを変更しました　今後、このページが正式ホームページとなります

研究室が新しい棟に移動しました。旧2号館（D4F）に設置されていた装置はすべて新しい棟に引っ越ししました。
2019年5月より、課金体系が変更されました。ご注意下さい。課金について

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　新着情報　PZT-MEMSのマルチチップサービスが公開されました。

電気学会のサポートで、PZT-MEMSのマルチチップサービス（圧電薄膜を用いたMEMSデバイス試作）、MPWを進めております。どなたでも参加できます。詳細は、電気学会MPWサービスのページをどうそ。

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　兵庫県立大学　MEMSデバイス開発支援センターへようこそ！

　本センターは、学内外を問わず、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスに関連する設備やノウハウを広く利用頂くために設立されたセンターです。運営資金の一部とするため、若干の課金を提示させて頂いておりますが、営利を目的とするものではありませんので、As is、Best effort型のサービスとさせていただきます。センターパンフレット−＞fileMEMSCV2DS.pdf

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　MEMSデバイス開発支援センターでできること

　以下のサービスを行います。

  • 　装置利用：利用者ご自身で装置運用をしていただきます。最初に利用されます際には、簡単な安全講習とともに、装置使用の手引きをさせていただきます。
  • 　依頼加工：当方のマンパワーに余裕がある場合（現在、技術員の方がおられます）、薄膜形成や、パターン形成、等々の依頼を申し受けます。加工期間、費用等に付いては別途お問い合わせ下さい。
  • 　サンプルの提供：NdFeB（磁石薄膜）やPZT（圧電薄膜）を堆積したサンプルウエハをアフォードセンス株式会社を介して提供する予定です。現在準備中です。
  • 　技術指導：MEMS技術について本格的に取り組みたい方に対して、産学連携スキームを通じて技術指導を行います。産学連携については、本学ホームページ（https://www.u-hyogo.ac.jp/research/center/index.html）をご参照下さい。
  • 　MEMS講習：基礎のMEMS技術講習を実技を含めて計画したいと思っています。
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　参加の手順（装置利用）

　まず、装置一覧で、やりたいことに適切な設備があるかどうか、確認します。ついで、各装置名をクリックして装置個別ページに入っていただきます。装置個別ページには予約一覧と装置の簡単な説明があります。予約一覧をご覧頂き、ご希望のスケジュールを検討します。そして、機器使用連絡フォームから、装置の使用希望をお出し下さい。状況を確認し、こちらからメイルによりお返事させていただきます。また、ご質問等がございましたらお問い合わせフォームから、ご遠慮なくご質問下さい。

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　費用

  • 　課金についてをご参照下さい（暫定ルールです）。
  • 　学外の方の利用はアフォードセンス株式会社（http://www.affordsens.com/）が伝票処理（請求書発行など）を行いますが、手数料が必要となります。
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　企業の方へお願い

  • 　本センターの運営趣旨にご賛同いただけましたら、賛助会員となっていただける企業の方を募集いたします。
  • 　積極的にMEMSデバイスにチャレンジしたいとお考えの場合、長期にわたる自由な利用を可能にするため、共同研究等の仕組みでセンターと協同することも可能です。ご興味がございましたら下記お問い合わせ先までご連絡下さい。
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　お問い合わせ先

　協同研究のお申し出などは、前中(Mail:MyMail.jpg)までご連絡下さい。
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