ご注意：2018年11月初旬から約1ヶ月、研究室の新棟への引っ越しが行われます。

  • 上記期間は設置場所が「D4F」となっております装置については使用することができませんのでご注意下さい。
  • また、オープン実験等も別途工事が入ります（11月中旬〜3月下旬）。設置場所が「Open1F」「Open2F」の装置も使いにくくなります。特にTEOS-CVDは1/20〜2/6の期間、完全停止します。
  • 　それ以外のものについては上記期間中も使用可能ですが、人的なバックアップがしにくくなると予想されますのでご注意下さい。
  • 　12月16日現在、装置の引っ越しは終了しました。現在装置の立ち上げを行っておりますので、まだ一部の装置については稼働しておりません（詳細についてはお問い合わせ下さい）。ご不便をおかけしますがご理解の上、よろしくお願い申し上げます。;
  • 　平成31年1月現在、そろそろ全体の再稼働ができそうな状況になってきました（オープン実験棟を除きます）。お待たせしましたが、今後とも宜しくお願いいたします。
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　新着情報　PZT-MEMSのマルチチップサービスが公開されました。

電気学会のサポートで、PZT-MEMSのマルチチップサービス（圧電薄膜を用いたMEMSデバイス試作）、MPWを進めております。どなたでも参加できます。詳細は、電気学会MPWサービスのページをどうそ。

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　兵庫県立大学　MEMSデバイス開発支援センターへようこそ！

　本センターは、学内外を問わず、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスに関連する設備やノウハウを広く利用頂くために設立されたセンターです。運営資金の一部とするため、若干の課金を提示させて頂いておりますが、営利を目的とするものではありませんので、As is、Best effort型のサービスとさせていただきます。センターパンフレット−＞fileMEMSCV2DS.pdf

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　MEMSデバイス開発支援センターでできること

　以下のサービスを行います。

  • 　装置利用：利用者ご自身で装置運用をしていただきます。最初に利用されます際には、簡単な安全講習とともに、装置使用の手引きをさせていただきます。
  • 　依頼加工：当方のマンパワーに余裕がある場合（現在、技術員の方がおられます）、薄膜形成や、パターン形成、等々の依頼を申し受けます。加工期間、費用等に付いては別途お問い合わせ下さい。
  • 　サンプルの提供：NdFeB（磁石薄膜）やPZT（圧電薄膜）を堆積したサンプルウエハをアフォードセンス株式会社を介して提供する予定です。現在準備中です。
  • 　MEMS講習：基礎のMEMS技術講習を実技を含めて計画したいと思っています。
  • 　技術指導：これからMEMS技術に取り組みたい方に対して、技術指導を行います。
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　参加の手順（装置利用）

　まず、装置一覧で、やりたいことに適切な設備があるかどうか、確認します。ついで、各装置名をクリックして装置個別ページに入っていただきます。装置個別ページには予約一覧と装置の簡単な説明があります。予約一覧をご覧頂き、ご希望のスケジュールを検討します。そして、機器使用連絡フォームから、装置の使用希望をお出し下さい。状況を確認し、こちらからメイルによりお返事させていただきます。また、ご質問等がございましたらお問い合わせフォームから、ご遠慮なくご質問下さい。

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　費用

  • 　課金についてをご参照下さい（暫定ルールです）。
  • 　学外の方の利用はアフォードセンス株式会社（http://www.affordsens.com/）が伝票処理（請求書発行など）を行いますが、手数料が必要となります。
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　企業の方へお願い

  • 　本センターの運営趣旨にご賛同いただけましたら、賛助会員となっていただける企業の方を募集いたします。
  • 　積極的にMEMSデバイスにチャレンジしたいとお考えの場合、長期にわたる自由な利用を可能にするため、共同研究等の仕組みでセンターと協同することも可能です。ご興味がございましたら下記お問い合わせ先までご連絡下さい。
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　お問い合わせ先

　協同研究のお申し出などは、前中(Mail:MyMail.jpg)までご連絡下さい。
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