PZTスパッタ装置
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開始行:
* PZTスパッタ装置 [#pd06fdd0]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./PZTスパッタ装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ:PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(...
** 概要 [#s212667c]
- (圧電薄膜)PZT、Pt/Ti膜の連続成膜装置
- 高温スパッタ
- 4インチウエハ用
- 標準PZT膜厚3µm
- 温度分布に敏感
- 新品装置だがなかなか気むずかしい
#calendar9
終了行:
* PZTスパッタ装置 [#pd06fdd0]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./PZTスパッタ装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ:PZTスパッタリング装置簡易マニュアル2014(...
** 概要 [#s212667c]
- (圧電薄膜)PZT、Pt/Ti膜の連続成膜装置
- 高温スパッタ
- 4インチウエハ用
- 標準PZT膜厚3µm
- 温度分布に敏感
- 新品装置だがなかなか気むずかしい
#calendar9
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