LP-CVD装置
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開始行:
* LP-CVD装置 [#pd06fdd0]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./LP-CVD装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./LPCVD簡易マニュアル100315.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- (Poly-Si、SiN用LP-CVD
- 4インチ、3-4枚/バッチ
- 相当古い装置+シラン/アンモニアガスを使用するため、教...
#calendar9
終了行:
* LP-CVD装置 [#pd06fdd0]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./LP-CVD装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./LPCVD簡易マニュアル100315.pdf);
** 概要 [#s212667c]
- (Poly-Si、SiN用LP-CVD
- 4インチ、3-4枚/バッチ
- 相当古い装置+シラン/アンモニアガスを使用するため、教...
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