EB蒸着装置
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開始行:
* EB蒸着装置 [#sa019357]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./EB蒸着装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./CR1 EB(TMP).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 4源ルツボEB蒸着
- 真空系はDP
- 基板加熱可(<200℃)
- Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
- ビームスイープ機構(Cr等昇華性ソースに使用)
- 猛烈に古い
- オペにコツ必要
#calendar9
終了行:
* EB蒸着装置 [#sa019357]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./EB蒸着装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./CR1 EB(TMP).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 4源ルツボEB蒸着
- 真空系はDP
- 基板加熱可(<200℃)
- Cr、Ni、Au、Al等金属汎用
- ビームスイープ機構(Cr等昇華性ソースに使用)
- 猛烈に古い
- オペにコツ必要
#calendar9
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