Deep-RIE装置
をテンプレートにして作成
[
ホーム
|
一覧
|
単語検索
|
最終更新
|
ヘルプ
]
開始行:
* Deep-RIE装置 [#aeb6e834]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./Deep-RIE装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ:Deep-RIE簡易マニュアル_プロセス編(池田)....
** 概要 [#s212667c]
- 住友精密工業製 MUC-21
- 4インチウエハ、シリコン専用
- Boschプロセスによる垂直エッチング
- エッチング速度最大25um/min、ウエハの貫通エッチング可能...
- 対レジストエッチング選択比200以上、対 酸化膜エッチング...
- ウエハ貫通も可能
- 小径・異形ウエハはダミーウエハに貼り付けて処理
#calendar9
終了行:
* Deep-RIE装置 [#aeb6e834]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./Deep-RIE装置.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./インキュ:Deep-RIE簡易マニュアル_プロセス編(池田)....
** 概要 [#s212667c]
- 住友精密工業製 MUC-21
- 4インチウエハ、シリコン専用
- Boschプロセスによる垂直エッチング
- エッチング速度最大25um/min、ウエハの貫通エッチング可能...
- 対レジストエッチング選択比200以上、対 酸化膜エッチング...
- ウエハ貫通も可能
- 小径・異形ウエハはダミーウエハに貼り付けて処理
#calendar9
ページ名: