両面マスクアライナその2
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開始行:
* 両面マスクアライナその2[#f5cfbc83]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./両面マスクアライナその2.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&color(red){マニュアル探し中};
** 概要 [#s212667c]
- 3〜5インチマスク、両面同時露光
- 4インチウエハ、異形ウエハOK
- 密着露光
- 表裏面のマスクを合わせて、その間にウエハを挟み込み、表...
- 通常のアライナとしての使用可
- g線(436nm)
#calendar9
終了行:
* 両面マスクアライナその2[#f5cfbc83]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./両面マスクアライナその2.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&color(red){マニュアル探し中};
** 概要 [#s212667c]
- 3〜5インチマスク、両面同時露光
- 4インチウエハ、異形ウエハOK
- 密着露光
- 表裏面のマスクを合わせて、その間にウエハを挟み込み、表...
- 通常のアライナとしての使用可
- g線(436nm)
#calendar9
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