両面マスクアライナ
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開始行:
* 両面マスクアライナ [#f5cfbc83]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./両面マスクアライナ.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./CR1:両面アライナPEM-800 簡易マニュアル(山口).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 5インチマスク、4インチウエハ
- 密着露光
- ウエハ裏面のパターンを見て表面のアライメントが可能
- g線(436nm)
#calendar9
終了行:
* 両面マスクアライナ [#f5cfbc83]
** 装置外観 [#cee4ec47]
&ref(./両面マスクアライナ.png,50%);
** 簡易取扱説明書 [#p2e16d34]
&ref(./CR1:両面アライナPEM-800 簡易マニュアル(山口).pdf);
** 概要 [#s212667c]
- 5インチマスク、4インチウエハ
- 密着露光
- ウエハ裏面のパターンを見て表面のアライメントが可能
- g線(436nm)
#calendar9
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